一种可拆卸新型电子束蒸发台的制作方法

1.本实用新型涉及电子束蒸发台技术领域，具体来说，涉及一种可拆卸新型电子束蒸发台。


背景技术：

2.电子束蒸发台是一种用于物理学领域的核仪器，蒸发台属于pvd装置，pvd的原理是将金属或合金置于真空环境中并加热至其熔点以上，金属材料被蒸发成气相，金属原子会以直线运动轨迹高速前进，淀积在晶片表面上，金属的蒸发可有电阻加热，电子束聚焦加热、射频加热等方法，使蒸发源达到熔点，这种装置称为蒸发台，用电子束聚焦加热的蒸发台称为电子束蒸发台，现有的电子束蒸发台在使用过程中，不便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护。
3.申请号为202023292578.9的实用新型公开了一种电子束蒸发台，包括壳体和伸缩杆，所述壳体的下方焊接有底座，且底座的下方焊接有支撑块，所述伸缩杆位于底座的内部，且伸缩杆的下方焊接有活动柱，所述壳体的内部开设有卡槽，且卡槽的内部活动连接有卡块，所述卡块的右侧固定连接有柑涡，且柑涡的内部固定连接有进水管，所述进水管的右侧固定有法兰，且法兰的右侧固定连接有密封垫。该电子束蒸发台，与现有的普通电子束蒸发台相比，便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护，可以提高装置的工作效率，但是该电子束蒸发台上的基板固定安装在壳体内腔顶部，拆卸检修更换不便，而且坩埚需要人工手动取出，费时费力。
4.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。


技术实现要素：

5.针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种可拆卸新型电子束蒸发台，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
6.为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：
7.一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体、移动轮、柜门，所述壳体内腔内腔固定设有隔板，所述隔板上开设有导向滑槽，所述壳体内腔底部设有驱动机构，所述驱动机构顶部通过滑杆固定连接有支撑台，所述支撑台顶部设有坩埚，所述坩埚顶部一侧与底部一侧分别设有进水口与出水口，所述进水口一端与出水口一端分别通过管道连接头连接有进水管与出水管，所述进水管与出水管上均设有流量控制阀，所述壳体内腔底部通过基座安装有电子发射头，所述壳体内腔顶部通过卡接组件连接有基板，所述壳体顶部一侧设有抽真空组件。
8.作为优选，抽真空组件包括真空泵，且所述真空泵固定设置在壳体顶部一侧，所述真空泵抽气端与壳体之间连接有抽气管。
9.作为优选，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机输出轴端部固定连接有丝杆，且所述丝杆通过轴承转动设置在壳体内腔，所述丝杆外侧套设有驱动块。
10.作为优选，所述驱动块顶部通过滑杆固定连接支撑台，且所述滑杆贯穿导向滑槽。
11.作为优选，所述卡接组件包括卡套与卡块，所述卡套外侧设有限位销孔，所述卡块内部的空腔内设有弹簧卡扣。
12.作为优选，所述弹簧卡扣包括弹簧，所述弹簧一端固定设有限位卡销。
13.本实用新型的有益效果为：1、通过设置驱动机构，驱动机构可以通过滑杆带动支撑台左右移动，可以自动把支撑台顶部安装的坩埚移出壳体或者移入壳体，不需要人工手动取出，便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护，通过进水管向坩埚内充入冷水可避免蒸发材料与柑涡壁发生反应，影响薄膜的质量，通过出水管可以排出坩埚内的水，可以保证坩埚内部清洁；
14.2、通过设置卡接组件，卡接组件上的弹簧卡扣卡进限位销孔内可以快速对基板进行卡接固定，把弹簧卡扣从限位销孔内按压出来即可对基板进行拆卸检修更换，基板拆卸检修更换方便。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1是根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台结构图；
17.图2是根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台剖视图；
18.图3是根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台的卡接组件剖视图；
19.图4是根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台的支撑台结构图。
20.图中：
21.1、壳体；2、移动轮；3、柜门；4、隔板；5、导向滑槽；6、驱动机构；7、滑杆；8、支撑台；9、坩埚；10、进水口；11、出水口；12、进水管；13、出水管；14、流量控制阀；15、电子发射头；16、基板；17、真空泵；18、抽气管；19、驱动电机；20、丝杆；21、驱动块；22、卡套；23、卡块；24、限位销孔；25、弹簧卡扣；26、弹簧；27、限位卡销。
具体实施方式
22.为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
23.根据本实用新型的实施例，提供了一种可拆卸新型电子束蒸发台。
24.实施例一
25.如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体1、移动轮2、柜门3，壳体1内腔内腔固定设有隔板4，隔板4上开设有导向滑槽5，壳体1内腔底部设有驱动机构6，驱动机构6顶部通过滑杆7固定连接有支撑台8，支撑台8顶部设有坩埚9，
坩埚9顶部一侧与底部一侧分别设有进水口10与出水口11，进水口10一端与出水口11一端分别通过管道连接头连接有进水管12与出水管13，通过进水管12向坩埚9内充入冷水可避免蒸发材料与柑涡9壁发生反应，影响薄膜的质量，通过出水管13可以排出坩埚9内的水，可以保证坩埚9内部清洁，进水管12与出水管13上均设有流量控制阀14，所述壳体1内腔底部通过基座安装有电子发射头15，壳体1内腔顶部通过卡接组件连接有基板16，壳体1顶部一侧设有抽真空组件，抽真空组件包括真空泵17，且真空泵17固定设置在壳体1顶部一侧，真空泵17抽气端与壳体1之间连接有抽气管18，真空泵17通过抽气管18可以对壳体1内腔进行抽真空，在真空条件下利用电子发射头15直接对加热蒸发材料进行加热，使蒸发材料气化并向基板16输运，在基板16上凝结形成薄膜。
26.实施例二
27.如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体1、移动轮2、柜门3，壳体1内腔内腔固定设有隔板4，隔板4上开设有导向滑槽5，壳体1内腔底部设有驱动机构6，驱动机构6顶部通过滑杆7固定连接有支撑台8，支撑台8顶部设有坩埚9，坩埚9顶部一侧与底部一侧分别设有进水口10与出水口11，进水口10一端与出水口11一端分别通过管道连接头连接有进水管12与出水管13，通过进水管12向坩埚9内充入冷水可避免蒸发材料与柑涡9壁发生反应，影响薄膜的质量，通过出水管13可以排出坩埚9内的水，可以保证坩埚9内部清洁，进水管12与出水管13上均设有流量控制阀14，所述壳体1内腔底部通过基座安装有电子发射头15，壳体1内腔顶部通过卡接组件连接有基板16，壳体1顶部一侧设有抽真空组件，驱动机构6包括驱动电机19，驱动电机19输出轴端部固定连接有丝杆20，且丝杆20通过轴承转动设置在壳体1内腔，丝杆20外侧套设有驱动块21，驱动块21顶部通过滑杆7固定连接支撑台8，且滑杆7贯穿导向滑槽5，驱动电机19带动丝杆20顺时针或者逆时针旋转可以控制驱动块21左右滑动，驱动块21可以通过滑杆7带动支撑台8左右移动，可以自动把支撑台8顶部安装的坩埚9移出壳体1或者移入壳体1，不需要人工手动取出，便于使用者对柑涡9的内部进行清洁与维护。
28.实施例三
29.如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体1、移动轮2、柜门3，壳体1内腔内腔固定设有隔板4，隔板4上开设有导向滑槽5，壳体1内腔底部设有驱动机构6，驱动机构6顶部通过滑杆7固定连接有支撑台8，支撑台8顶部设有坩埚9，坩埚9顶部一侧与底部一侧分别设有进水口10与出水口11，进水口10一端与出水口11一端分别通过管道连接头连接有进水管12与出水管13，通过进水管12向坩埚9内充入冷水可避免蒸发材料与柑涡9壁发生反应，影响薄膜的质量，通过出水管13可以排出坩埚9内的水，可以保证坩埚9内部清洁，进水管12与出水管13上均设有流量控制阀14，所述壳体1内腔底部通过基座安装有电子发射头15，壳体1内腔顶部通过卡接组件连接有基板16，壳体1顶部一侧设有抽真空组件，卡接组件包括卡套22与卡块23，卡套22外侧设有限位销孔24，卡块23内部的空腔内设有弹簧卡扣25，弹簧卡扣25包括弹簧26，弹簧26一端固定设有限位卡销27，卡接组件上的弹簧卡扣25卡进限位销孔24内可以快速对基板16进行卡接固定，把弹簧卡扣25从限位销孔24内按压出来即可对基板16进行拆卸检修更换。
30.综上，借助于本实用新型的上述技术方案，此装置在使用时，卡接组件上的弹簧卡扣25卡进限位销孔24内可以快速对基板16进行卡接固定，把弹簧卡扣25从限位销孔24内按
压出来即可对基板16进行拆卸检修更换，通过进水管12向坩埚9内充入冷水，接着打开真空泵17，真空泵17通过抽气管18可以对壳体1内腔进行抽真空，在真空条件下利用电子发射头15直接对加热蒸发材料进行加热，使蒸发材料气化并向基板16输运，在基板16上凝结形成薄膜，完成加工后通过出水管13可以排出坩埚9内的水，可以保证坩埚9内部清洁，把进水管12与出水管13分别从进水口10一端与出水口11一端拆卸下来，开启驱动电机19，驱动电机19带动丝杆20顺时针或者逆时针旋转可以控制驱动块21左右滑动，驱动块21可以通过滑杆7带动支撑台8左右移动，可以自动把支撑台8顶部安装的坩埚9移出壳体1或者移入壳体1，不需要人工手动取出，便于使用者对柑涡9的内部进行清洁与维护。
31.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体(1)、移动轮(2)、柜门(3)，其特征在于：所述壳体(1)内腔内腔固定设有隔板(4)，所述隔板(4)上开设有导向滑槽(5)，所述壳体(1)内腔底部设有驱动机构(6)，所述驱动机构(6)顶部通过滑杆(7)固定连接有支撑台(8)，所述支撑台(8)顶部设有坩埚(9)，所述坩埚(9)顶部一侧与底部一侧分别设有进水口(10)与出水口(11)，所述进水口(10)一端与出水口(11)一端分别通过管道连接头连接有进水管(12)与出水管(13)，所述进水管(12)与出水管(13)上均设有流量控制阀(14)，所述壳体(1)内腔底部通过基座安装有电子发射头(15)，所述壳体(1)内腔顶部通过卡接组件连接有基板(16)，所述壳体(1)顶部一侧设有抽真空组件。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸新型电子束蒸发台，其特征在于：抽真空组件包括真空泵(17)，且所述真空泵(17)固定设置在壳体(1)顶部一侧，所述真空泵(17)抽气端与壳体(1)之间连接有抽气管(18)。3.根据权利要求2所述的一种可拆卸新型电子束蒸发台，其特征在于：所述驱动机构(6)包括驱动电机(19)，所述驱动电机(19)输出轴端部固定连接有丝杆(20)，且所述丝杆(20)通过轴承转动设置在壳体(1)内腔，所述丝杆(20)外侧套设有驱动块(21)。4.根据权利要求3所述的一种可拆卸新型电子束蒸发台，其特征在于：所述驱动块(21)顶部通过滑杆(7)固定连接支撑台(8)，且所述滑杆(7)贯穿导向滑槽(5)。5.根据权利要求4所述的一种可拆卸新型电子束蒸发台，其特征在于：卡接组件包括卡套(22)与卡块(23)，所述卡套(22)外侧设有限位销孔(24)，所述卡块(23)内部的空腔内设有弹簧卡扣(25)。6.根据权利要求5所述的一种可拆卸新型电子束蒸发台，其特征在于：所述弹簧卡扣(25)包括弹簧(26)，所述弹簧(26)一端固定设有限位卡销(27)。

技术总结
本实用新型公开了一种可拆卸新型电子束蒸发台，包括壳体、移动轮、柜门，所述壳体内腔内腔固定设有隔板，所述隔板上开设有导向滑槽，所述壳体内腔底部设有驱动机构，驱动机构可以通过滑杆带动支撑台左右移动，可以自动把支撑台顶部安装的坩埚移出壳体或者移入壳体，不需要人工手动取出，便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护，通过进水管向坩埚内充入冷水可避免蒸发材料与柑涡壁发生反应，影响薄膜的质量，通过出水管可以排出坩埚内的水，可以保证坩埚内部清洁，通过设置卡接组件，卡接组件上的弹簧卡扣卡进限位销孔内可以快速对基板进行卡接固定，把弹簧卡扣从限位销孔内按压出来即可对基板进行拆卸检修更换，基板拆卸检修更换方便。更换方便。更换方便。


技术研发人员：李林 李丛 王浩钰
受保护的技术使用者：易魁电子科技（苏州）有限公司
技术研发日：2022.12.30
技术公布日：2023/8/26