一种显微镜遮光组件的制作方法

1.本实用新型属于晶圆外观检验领域，特别涉及一种显微镜遮光组件。


背景技术：

2.现有技术中，晶圆加工过程中的bumping制造工艺中需要用到涂布机，涂布机用于对晶圆涂上一层光阻，并且光阻涂布机处于黄光区的环境中，而晶圆表面涂上光阻后需要用到显微镜检查，该光阻涂布机和晶圆所处区域的光线为黄色，其问题在于：导致显微镜对晶圆外观检验比较困难，需要使用强光灯照射，但长时间使用强光灯会对机台旁其他人员造成直射，影响作业以及人员的视力。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种显微镜遮光组件，解决长时间使用强光灯会对机台旁其他人员造成直射影响作业以及视力的问题，在显微镜旁增加一块不透明遮光挡板，将光线遮住，不让强光灯对其他人员造成影响。
4.本实用新型的目的是这样实现的：一种显微镜遮光组件，包括工作桌，工作桌表面布满设置有多个定位孔，所述工作桌上设置有显微镜，与所述显微镜相对应设置有强光灯，所述工作桌上设置有两个转动连接的遮挡板，两个遮挡板呈v形，两个遮挡板均竖直设置且遮挡板下部设置有固定底座，固定底座呈l形，固定底座的水平部通过螺钉与工作桌上的对应定位孔相固定，两个所述遮挡板上均连接有可侧向滑动的调节遮挡机构。
5.本实用新型在显微镜旁工作桌，增加一块不透明遮挡板将光线遮挡住，有效解决强光灯对其他人员造成的影响；使用不透明亚克力材质，制作v形遮挡板，使用不锈钢材质制作l型金属固定底座，用来固定遮挡板并将其固定在工作桌上，通过滑动调节遮挡板可以增大遮光面积，便于用于不同规格的晶圆显微镜旁，可以调整遮挡范围，适用不同体格的人员。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：解决人员视力影响，改善人员工作环境；提高工作效率；松开螺丝后拆装移动方便。
6.作为本实用新型的进一步改进，任一所述遮挡板的边缘设置有两个上下间隔分布的连接座，另一遮挡板的边缘对应两个连接座设置有两个连接耳板，连接耳板与对应连接座相转动连接。
7.为了防止光线从两遮挡板缝隙通过，所述遮挡板的材质为亚克力，遮挡板的颜色为黑色，与两块遮挡板的间隙相对应设置有黑色遮光帘布，遮光帘布的两侧边缘分别与两遮挡板相固定。遮光帘布的长度加长，便于两遮挡板相对转动。
8.为了便于安装固定底座，所述固定底座的材质不锈钢，固定底座的竖直部与遮挡板相固定，固定底座的水平部上开设有至少两个腰型槽，螺钉向下穿过对应腰型槽与定位孔相固定连接。
9.为了滑动改变调节遮挡板的位置，所述调节遮挡机构包括两组分别设置在遮挡板前后两侧的导向组件，每组导向组件包括两根上下间隔的水平导向条，遮挡板前后两侧的
导向条上均活动连接有一调节遮挡板，调节遮挡板上对应各导向条开设有导向槽，导向条配合嵌入导向槽内，两调节遮挡板朝外一侧之间一体设有中间板，中间板和两调节遮挡板采用黑色塑料材质。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述遮挡板上开设有水平的腰型槽，腰型槽位于两个导向条之间，两个调节遮挡板上均开设有固定孔，固定螺栓依次穿过固定孔、腰型槽和另一固定孔，固定螺栓端部设有压紧调节遮挡板的螺母。
附图说明
11.图1为本实用新型的俯视图。
12.图2为图1中a处的放大图。
13.图3为本实用新型的主视图。
14.图4为单块遮挡板的俯视图。
15.图5为遮挡板和固定底座的结构示意图。
16.其中，1工作桌，2定位孔，3显微镜，4强光灯，5遮挡板，6固定底座，6a水平部，6b竖直部，7螺钉，8连接座，9连接耳板，10遮光帘布， 11腰型槽，12导向条，13调节遮挡板，13a中间板，14导向槽，15腰型槽，16固定螺栓，16a螺母。
具体实施方式
17.如图1-5所示，为一种显微镜遮光组件，包括工作桌1，工作桌1表面布满设置有多个定位孔2，工作桌1上设置有显微镜3，与显微镜3相对应设置有强光灯4，工作桌1上设置有两个转动连接的遮挡板5，两个遮挡板5呈v形，两个遮挡板5均竖直设置且遮挡板5下部设置有固定底座6，固定底座6呈l形，固定底座6的水平部6a通过螺钉7与工作桌1上的对应定位孔2相固定，两个遮挡板5上均连接有可侧向滑动的调节遮挡机构。为了滑动改变调节遮挡板13的位置，所述调节遮挡机构包括两组分别设置在遮挡板5前后两侧的导向组件，每组导向组件包括两根上下间隔的水平导向条12，遮挡板5前后两侧的导向条12上均活动连接有一调节遮挡板13，调节遮挡板13上对应各导向条12开设有导向槽14，导向条12配合嵌入导向槽14内，两调节遮挡板13朝外一侧之间一体设有中间板13a，中间板13a和两调节遮挡板13采用黑色塑料材质。遮挡板5上开设有水平的腰型槽15，腰型槽15位于两个导向条12之间，两个调节遮挡板13上均开设有固定孔，固定螺栓16依次穿过固定孔、腰型槽15和另一固定孔，固定螺栓16端部设有压紧调节遮挡板13的螺母16a。
18.任一遮挡板5的边缘设置有两个上下间隔分布的连接座8，另一遮挡板的边缘对应两个连接座8设置有两个连接耳板9，连接耳板9与对应连接座8相转动连接。为了防止光线从两遮挡板缝隙通过，遮挡板5的材质为亚克力，遮挡板的颜色为黑色，与两块遮挡板的间隙相对应设置有黑色遮光帘布10，遮光帘布10的两侧边缘分别与两遮挡板相固定。遮光帘布10的长度加长，便于两遮挡板相对转动。
19.为了便于安装固定底座6，固定底座6的材质不锈钢，固定底座6的竖直部6b与遮挡板相固定，固定底座6的水平部6a上开设有至少两个腰型槽11，螺钉7向下穿过对应腰型槽11与定位孔2相固定连接。
20.本实用新型在显微镜3旁工作桌1，增加一块不透明遮挡板将光线遮挡住，有效解
决强光灯4对其他人员造成的影响；使用不透明亚克力材质，制作v形遮挡板，使用不锈钢材质制作l型金属固定底座6，用来固定遮挡板并将其固定在工作桌1上，通过滑动调节遮挡板13可以增大遮光面积，便于用于不同规格的晶圆显微镜3旁，可以调整遮挡范围，适用不同体格的人员。本实用新型能够解决人员视力影响，改善人员工作环境；提高工作效率；松开螺丝后拆装移动方便。
21.本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种显微镜遮光组件，包括工作桌，工作桌表面布满设置有多个定位孔，所述工作桌上设置有显微镜，与所述显微镜相对应设置有强光灯，其特征在于，所述工作桌上设置有两个转动连接的遮挡板，两个遮挡板呈v形，两个遮挡板均竖直设置且遮挡板下部设置有固定底座，固定底座呈l形，固定底座的水平部通过螺钉与工作桌上的对应定位孔相固定，两个所述遮挡板上均连接有可侧向滑动的调节遮挡机构。2.根据权利要求1所述的一种显微镜遮光组件，其特征在于，任一所述遮挡板的边缘设置有两个上下间隔分布的连接座，另一遮挡板的边缘对应两个连接座设置有两个连接耳板，连接耳板与对应连接座相转动连接。3.根据权利要求2所述的一种显微镜遮光组件，其特征在于，所述遮挡板的材质为亚克力，遮挡板的颜色为黑色，与两块遮挡板的间隙相对应设置有黑色遮光帘布，遮光帘布的两侧边缘分别与两遮挡板相固定。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种显微镜遮光组件，其特征在于，所述固定底座的材质不锈钢，固定底座的竖直部与遮挡板相固定，固定底座的水平部上开设有至少两个腰型槽，螺钉向下穿过对应腰型槽与定位孔相固定连接。5.根据权利要求1-3任一项所述的一种显微镜遮光组件，其特征在于，所述调节遮挡机构包括两组分别设置在遮挡板前后两侧的导向组件，每组导向组件包括两根上下间隔的水平导向条，遮挡板前后两侧的导向条上均活动连接有一调节遮挡板，调节遮挡板上对应各导向条开设有导向槽，导向条配合嵌入导向槽内，两调节遮挡板朝外一侧之间一体设有中间板，中间板和两调节遮挡板采用黑色塑料材质。6.根据权利要求5所述的一种显微镜遮光组件，其特征在于，所述遮挡板上开设有水平的腰型槽，腰型槽位于两个导向条之间，两个调节遮挡板上均开设有固定孔，固定螺栓依次穿过固定孔、腰型槽和另一固定孔，固定螺栓端部设有压紧调节遮挡板的螺母。

技术总结
本实用新型公开了晶圆外观检验领域内的一种显微镜遮光组件，包括工作桌，工作桌表面布满设置有多个定位孔，所述工作桌上设置有显微镜，与所述显微镜相对应设置有强光灯，所述工作桌上设置有两个转动连接的遮挡板，两个遮挡板呈V形，两个遮挡板均竖直设置且遮挡板下部设置有固定底座，固定底座呈L形，固定底座的水平部通过螺钉与工作桌上的对应定位孔相固定，两个所述遮挡板上均连接有可侧向滑动的调节遮挡机构。本实用新型解决长时间使用强光灯会对机台旁其他人员造成直射影响作业以及视力的问题。力的问题。力的问题。


技术研发人员：涂可嘉
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：2023.02.27
技术公布日：2023/8/26